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上海光机所知识创新工程试点工作简报

（第一四七期）

2004年12月3日

上海光机所承担的上海市科技攻关项目“激光光刻用准
分子激光系统部分技术预研”通过验收

　　2004年11月10日，上海市科委在我所主持召开了对上海市科技攻关项目“激光光刻用准分子激光系统部分技术预研”的验收会。项目负责人楼祺洪在会上作了工作总结报告、技术研究报告。验收专家组认真听取了项目组的汇报，审阅了测试报告等有关材料，认为该项目在研制过程中建立了用于准分子激光均匀性的测试平台，并给出了准分子激光束光束均匀性评价指标。研制了多种光束均匀器，获得了单脉冲不均匀度优于2.1％的要求，超过任务书中5％的要求。用标准具的方法对准分子激光束的谱线进行了压缩，实现了8.6pm的谱线宽度，并建立了一套窄谱线的测量装置。
　　项目组全面完成了任务书的各项指标，验收专家组一致同意通过验收。（科研管理处供稿）

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